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PSM-LN2系列

PSM-LN2系列

PSM-LN2系列液氮高低温探头台可为半导体芯片的电气参数测试提供80K-800K的高低温真空测试环境.

PSM-LN2系列概述

  液氮高低温探测台在科学研究和技术发展中起着至关重要的作用. 它可以在低温环境下对样品进行各种无损的物理和电气性能测试,帮助研究人员更深入地了解材料或器件的各种物理和电气性能, 从而为新材料的研发和应用提供了重要的数据支持.


  PSM-LN2系列液氮高低温探头台可为半导体芯片的电气参数测试提供80K-800K的高低温真空测试环境. 通过连接不同的电气测量仪器, 可完成电压参数测试, 当前的, 集成电路的电阻和IV曲线, 哪些可以用于芯片的无损电气测试, 低温真空环境下的晶圆和器件.


特点:
-液氮高低温真空探头级, 15分钟内腔内真空度可达10E-4torr, 液氮消耗量小, 只有0.需要2L液氮来降低温度, 使用方便,同时又经济实惠.
-探针臂的位移调整在真空室外操作, 允许在不破坏真空的情况下切换样品上的不同设备进行测试.
-独特的四维X-Y-Z-R调整探头臂允许测试多达4英寸的样品.
-真空室由铝制成, 有效减少外部电磁干扰,提高测试精度和稳定性.
-探头臂采用三同轴连接器, 良好的泄漏性能, 所测泄漏电流小于100fA @1V@80K--800K.
-宽测试温度范围,支持80K-800K连续温度变化.
-独特设计的柔性探头, 探针安装在铜弹片上, 避免在固定过程中施加过大的力导致样品或电极损坏.
-上盖采用翻盖结构,更方便更换样品.

PSM-LN2系列技术参数


PSM-LN2系列基本配置

半导体
IC
晶片

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